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问答题

简答题 集成电路工艺主要分为哪几大类,每一类中包括哪些主要工艺,各工艺的主要作用是什么?

【参考答案】

(1)薄膜制备工艺:包括氧化工艺和薄膜淀积工艺。该工艺通过生长或淀积的方法,生成集成电路制作过程中所需的各种材料的薄膜,如金属层、绝缘层等。
(2)图形转移工艺:包括光刻工艺和刻蚀工艺。把设计好的集成电路版图上的图形复制到硅片上。
(3)掺杂工艺:包括扩散工艺和离子注入工艺,即通...

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