问答题

简答题光刻三要素分别是什么？

【参考答案】

光刻胶、掩膜版和光刻机。
光刻胶又叫光致抗蚀剂，它是由光敏化合物、基体树脂和有机溶剂等混合而成的胶状液体。
光刻胶受到特定波长光线的作用后，导致其化学结构发生变化，使光刻胶在某些特定溶液中的溶解特性改变。
正胶：曝光后可溶；负胶：曝光后不可溶。

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