问答题

简答题确定有光刻胶覆盖硅片的三个生产区，并简单说明光刻胶在各区的作用。

【参考答案】

光刻区的光刻胶是一种光敏媒介，通过对它进行深紫外线曝光来印制掩膜版的图形，实现图像转移；
刻蚀区的光刻胶用于保护不被刻蚀的图形；
离子注入区的光刻胶用于掩蔽不需进行掺杂的区域。

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