简答题 什么是外延层？其主要作用是什么？并说明其在当前IC工艺中的主要应用。

【参考答案】

外延层是指在单晶结构的衬底材料上形成的具有同样单晶结构的一个薄膜层。
主要作用：外延层与衬底有完全相同的晶格结构，且纯度更高，缺陷更少。而且相对于衬底来说，外延层具有较低的掺杂浓度，故可通过工艺实现精细的掺杂和对掺杂范围的控制：外延硅工艺为器件设计者在优化器件性能方面提供了很大的灵活性。......

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