问答题给出半导体制造中沾污及致命缺陷的定义。
问答题芯片加工环境指什么？半导体产业如何控制芯片制造过程中加工环境的沾污？
问答题芯片制造的重要基础是什么？
问答题BiCMOS工艺的主要技术特点是什么？由此所带来的主要优点是什么？
问答题试是说明芯片集成率的含义，且说明对特定的工艺而言影响芯片成品率的主要因素是什么及为什么？
