简答题 芯片加工环境指什么？半导体产业如何控制芯片制造过程中加工环境的沾污？

【参考答案】

芯片的加工环境：是指集成电路（或微电子）产品在加工过程中所接触的除衬底材料、加工设备、能源及加工技术之外的一切物质，包括空气、水、化学试剂、加工所用的各种气体及人员等。
三道防线：
净化环境（clean room）：包括空气的净化，人员的净化控制及工艺用水和化学品的净化......

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