简答题 解释什么是静电释放，并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。

【参考答案】

ESD是指静电荷从一个物体向另一个物体末经控制地转移。
ESD的危害性：
会使硅表面形成电荷积累，吸引带电颗粒或中性颗粒；
瞬时高压（可能几万伏）；
较大的瞬时峰值电流（1A）：栅氧化层击穿；
互联线蒸发的诱因；
随着器件尺寸的不断缩小，副......

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