A.横向效应，>B.横向效应，在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较……

多项选择题‌关于氧化速率下面哪种描述是正确的？（）

A.有杂质（如Na、P等）存在，氧化速率降低
B.生长十几nm厚的栅氧化层时，服从线性氧化速率
C.温度升高氧化速率迅速增加
D.（111）硅比（100）硅氧化得快

单项选择题在硅片晶向、掺杂类型介绍中，由硅片断裂边形成的角度是60º可知硅片是什么晶向？（）

A.（100）
B.（111）
C.（110）
D.（211）

填空题在硅表面LPCVD-Si3N4之前，都会先热生长薄氧化层，它被称为（）层。

填空题‍铝膜作为器件的内电极，有抗电迁移性（）的特点。

填空题干法刻蚀的方式主要有：溅射刻蚀、等离子体刻蚀、（）刻蚀三种。