问答题简述集成电路制造流程。
问答题集成电路工艺方法分为哪些？
问答题什么是集成电路工艺？
问答题分别解释IC、VLSI、ULSI、CMP、CVD、LPCVD、RIE、SOI、ERC、DRC、EXT等的含义。
问答题简述微电子、集成电路、集成度、场区、有源区、阱、外延。
