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问答题

简答题 集成电路常用的材料有哪些?

【参考答案】

集成电路中常用的材料有三类:半导体材料,如Si、Ge、GaAs 以及InP等;绝缘体材料,如SiO2、SiON 和Si3N4等;金属材料,如铝、金、钨以及铜等。

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