固态源扩散、液态源扩散和气态源扩散。 硼和磷在室温，低蒸汽压下是固态的，很难熔化或蒸发，且用固态杂质源也很难控制杂质浓度，故杂志通常由化合物的气态或液态源提供，液态源和气态源操作方便，成本低，掺杂量控制精确。
问答题淀积扩散主要受哪些因素的控制？
问答题举例说明什么是同型掺杂和反型掺杂及各自的目的。
问答题试说明半导体制造中扩散工艺的主要目的。列出并解释实际扩散工艺的主要步骤，并说明个步骤的主要作用和工艺温度。
问答题明两步扩散法的基本思想，及其每一步工艺的主要特点和目的。
问答题解释有限表面源扩散，列出有限表面源扩散的三种主要工艺参数，并说明其含义和主要影响因素。
