问答题举例说明什么是同型掺杂和反型掺杂及各自的目的。
问答题试说明半导体制造中扩散工艺的主要目的。列出并解释实际扩散工艺的主要步骤,并说明个步骤的主要作用和工艺温度。
问答题明两步扩散法的基本思想,及其每一步工艺的主要特点和目的。
问答题解释有限表面源扩散,列出有限表面源扩散的三种主要工艺参数,并说明其含义和主要影响因素。
问答题列出恒定表面源扩散的三种主要工艺参数,并说明其含义和主要影响因素。