简答题 明两步扩散法的基本思想，及其每一步工艺的主要特点和目的。

【参考答案】

第一步：恒定表面浓度的扩散（预沉积扩散Pre-deposition）；
目的：控制掺入的杂质总量；
第二步：为有限源的推进扩散（Drive-in主扩散或再分布），往往同时氧化；
目的：控制扩散深度和表面浓度；
第一步：
预淀积扩散：是在较低的温度（8......

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