简答题 说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点，并各举一例。

【参考答案】

间隙式杂质从一个间隙到另一个间隙的运动是通过原子间的缝隙进行的，这种依靠间隙方式而逐步跳跃前进的扩散称为间隙式扩散（Interstitial diffusion）。
硅中的间隙式杂质：O，Au，Fe，Cu，Ni，Zn，Mg。
替位式杂质从一个晶格格点位置到另一个晶格位置......

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