简答题

根据下图给出的一氧化工艺的菜单实例，试说明：
（1）该工艺采用的氧化方法
（2）每一步骤的具体作用（或状态）
（3）氮气在整个工艺流程中的作用
（4）工艺过程中加入HCl的主要作用

【参考答案】

（1）干氧掺氯氧化；栅氧
（2）作用：见表中注释
（3）第0~3步：去除杂质气体，同时起保压作用
第5~7步：因为退火阶段，虽然氧气和氯化氢被关闭，但氧化物中仍有氧扩散，会影响氧化硅的化学计量配比，故氮气起到祛除氮源的作用，同时也有降低固定电荷密度影响的作用；

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