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问答题

简答题 半导体工艺中是如何形成PN结的?什么是结深?

【参考答案】

根据杂质补偿原理,利用热扩散或离子注入的掺杂技术,在N型和P型之间杂质浓度相等处形成PN结。掺杂硅与硅衬底在杂质浓度相等处形成PN结,其结的位置定义为结深。即:pn结的几何位置与扩散层表面的距离。