简答题 接触孔和通孔的作用是什么？它们是如何形成的？什么是钨塞。试说明其主要作用。

【参考答案】

接触孔的作用：在金属和非金属导体间提供电学连接；
形成：
1）钛的淀积
2）退火
3）接触孔光刻，刻蚀金属钛。
通孔的作用：为相邻的不同金属层之间提供电学通路。
形成：
1）第一层层间介质氧化物淀积（化学气相淀积）
2）......

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