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问答题

简答题 试给出CMOS IC芯片制造的4种基础工艺,并说明每种工艺的主要作用。

【参考答案】

薄膜制作(thin film/layer):形成不同材料构成的工艺层。
光刻:是将电路图形转移到覆盖于硅片表面的光刻胶上。
刻蚀(etch):是指在硅片上没有光刻胶保护的地方留下永久性的图形。
掺杂(doping):根据设计的需要,将各种杂质掺杂在需要的位置上,形成晶体管、接触等。