简答题 列出硅片制造厂的6个主要生产区，简要说明各区的主要作用，并举例至少一种各区的典型设备。

【参考答案】

芯片制造厂可分成六个独立的生产区：扩散、光刻、刻蚀、薄膜生长、离子注入和抛光。
扩散区：通常是进行高温工艺和薄膜淀积的区域，主要设备是高温扩散炉和湿法清洗设备。
光刻区：涂胶/显影设备是指用来完成光刻的一系列操作的工具组合，包括对硅片进行预处理、涂胶、甩胶、烘干，以及最后将曝光后......

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