磁场虽不能对运动电荷做功，但是能改变运动方向，在磁控溅射中，靶面水平方向的磁场和法向的电场构成了互相垂直的电磁场，电子在正交场的作用下在垂直电场和磁场的方向上做旋轮线运动（俗称跨栏运动），而且靶面磁场的分布使这一运动形成闭合的跑道，这样就大大延长了电子的运动路程，从而显著提高了其电离的能力
问答题磁控溅射的特点是什么？
问答题合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？
问答题沉积速率与压力关系如何？
问答题什么是溅射速率？
问答题溅射粒子角分布（方向分布）如何？
