单位时间从靶表面单位面积上溅射出的靶材原子数，称为溅射速率，它决定于放电的离子电流密度和靶材的溅射产额的乘积。
问答题溅射粒子角分布（方向分布）如何？
问答题为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
问答题为什么选用氩气作为放电气体？
问答题溅射产额与哪些因素有关？
问答题浸没在等离子体中基片的悬浮电位是多少？
