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问答题

简答题溅射粒子角分布（方向分布）如何？

【参考答案】

与蒸发粒子的余弦分布不同，溅射粒子的出射方向遵从欠余弦分布，即按cosⁿθ分布（n＜1），如入射粒子的能量越小，欠余弦分布越明显。

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