由于不同元素的饱和蒸汽压相差较大，最大可达几个数量级，所以蒸发沉积合金薄膜难于保证成分比。而不同元素的溅射产额差别一般不会太大，再加上在溅射过程中，择优溅射使溅射率高的元素贫化，溅射率低的元素富集，通过这种自身调节可使沉积膜层的成分比例更接近原合金的比例。
问答题沉积速率与压力关系如何？
问答题什么是溅射速率？
问答题溅射粒子角分布（方向分布）如何？
问答题为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
问答题为什么选用氩气作为放电气体？
