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问答题

简答题 什么是恒定表面源扩散?其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响?其中哪一个影响最主要?为什么?

【参考答案】

如果在整个扩散过程中,硅片表面的杂质浓度始终不变,这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。结深只与扩散时间t和扩散系数D有关,与二者的平方根成正比。
扩散系数D与温度T成指数关系,因而温度通过扩散系数对扩散分布和结深的影响要远大于扩散时间的影响。