简答题 什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？

【参考答案】

如果在整个扩散过程中，硅片表面的杂质浓度始终不变，这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。结深只与扩散时间t和扩散系数D有关，......

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