问答题
简答题 为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
【参考答案】
溅射产额随离子入射的角度增大而增大，与入射角的余弦倒数成正比，即正比于
。入射角度的增大使得受入射离子级联碰撞的受激粒子更多地产生在近表面的地方，而且动量反转（指向表面）机会也较大，故溅射产额增加。