问答题

简答题是说明什么是迪尔—格罗夫模型？试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。

【参考答案】

Deal-Grove氧化模型（线性－抛物线模型 linear-parabolic model），是可以用固体理论解释的一维平面生长氧化硅的模型，是用来预测氧化层厚度的热动力学模型。
适用于：
A.氧化温度700～1200 oC；
B.局部压......

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