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问答题

简答题 什么是掺氯氧化？试说明氧化工艺中掺氯的主要优点。

【参考答案】

在集成电路制造中，为了改善氧化硅膜的质量，在氧化的全过程或部分氧化工艺中，在氧化剂的气氛中加入一定数量的氯，将氯结合到氧化层中并集中分布在Si-SiO2界面附近，故称之为掺氯氧化。
优点：可固定（称为钝化或俘获）可动离子，尤其是钠离子（Na+），......

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