问答题
简答题 试给出硅片上的热氧化生长过程的示意图，并说明其中的各物理量的基本含义。
【参考答案】
F：number/（cm2-s）
C：number/cm3；
F1：气体输运流量；
F2：通过SiO2的扩散流量；
F3：在界面处的反应流量；
CG：气相区氧化剂浓度；
CS：氧化物外表面氧化剂浓度；
CO：氧化物内表面氧化剂浓度；
CI：氧化物生长界面氧化剂浓度。