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问答题

简答题 芯片工艺包含哪些部分?每个部分各包含哪些具体的工艺流程?

【参考答案】

前工艺、后工艺、点测分选三部分。
(1)前工艺:外延片上做成一颗颗晶粒;
(2)后工艺:后工艺是将前工艺做成的含有数目众多管芯的晶片减薄,然后用激光切割成一颗颗独立的管芯。
(3)点测分选:
A.点测大圆片或方片上每一颗晶粒电性和光学性能;
B.将大圆片按照条......

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