简答题 什么是MOCVD？它有哪些特点？

【参考答案】

是一个将特定的源材料通过一系列严格控制，传输到加热生长区，在此生长区，源材料热分解后的元素化合形成具有一定光、电性能的晶体材料。
特点：
（1）适应性强，可以生长大部分化合物半导体材料；
（2）可通过精确控制各种气体的流量来控制外延层的组分，电学和光学性质；
（3）可......

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