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问答题

简答题简述化学气相沉积（CVD）的优点。

【参考答案】

准确控制薄膜的组分和掺杂水平、可在复杂的衬底上沉积薄膜、不需要昂贵的真空设备、高温沉积可改善结晶完整性、可在大尺寸基片上沉积薄膜。

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