简答题 简述气相外延生长（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。

【参考答案】

是让生长原材料以气体或电浆粒子的形式传输至芯片表面，这些粒子在失去部份的动能后被芯片表面晶格吸附 （Adsorb），通常芯片会以热的形式提供能量给粒子，使其游移至晶格位置而凝结 （Condensation）。（在此同时粒子和晶格表面原子因吸收热能而脱离芯片表面称之为解离 ）。