问答题芯片工艺包含哪些部分?每个部分各包含哪些具体的工艺流程?
问答题芯片工艺的作用是什么?
问答题在MOCVD中,基本的化学反应方程式是?
问答题什么是MOCVD?它有哪些特点?
问答题简述化学气相沉积(CVD)的优点。