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问答题

简答题 试说明热氧化反应为什么发生在Si—SiO2界面上,以及这种反应机制有何好处?

【参考答案】

在无定形SiO2的网络结构中,每个Si原子与四个氧原子形成共价键,而每个氧原子最多与两个Si原子形成共价键。氧原子较之硅原子更易挣脱Si-O键的束缚——化学反应在Si-SiO2界面发生。
避免硅表面被杂质沾污,起到保护作用。