简答题 什么是氧化工艺？请说明氧化工艺为什么需要高温技术？

【参考答案】

氧化，即在硅表面形成一氧化层的能力，是硅集成电路制造技术的基础及关键因素之一。
室温下也会生长出自然氧化层，但随后室温下的硅的氧分子都没有足够的扩散能力穿过自然氧化层，故一段时间后氧化反应停止，达不到要求的氧化层厚度。而杂质在氧化硅中的扩散能力与温度成指数关系，因此，要产生连续不断的反应，......

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)