简答题 什么是氧化工艺？请说明氧化工艺为什么需要高温技术？

【参考答案】

氧化，即在硅表面形成一氧化层的能力，是硅集成电路制造技术的基础及关键因素之一。
室温下也会生长出自然氧化层，但......

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