找考题网-背景图
问答题

简答题 列出氧化硅的五种主要物理参数,并说明实际中如何测试氧化层厚度。

【参考答案】

密度,折射率,电阻率,介电强度,(相对)介电常数。
实际中可用折射率,介质强度和介电常数来测量。