密度,折射率,电阻率,介电强度,(相对)介电常数。 实际中可用折射率,介质强度和介电常数来测量。
问答题试说明热氧化反应为什么发生在Si—SiO2界面上,以及这种反应机制有何好处?
问答题氧化工艺产生的SiO2为何种类型?并说明其结构对其强度和密度的影响。
问答题试说明按结构分类的二氧化硅的基本类型且各举一例,并说明各种类型的主要结构特点。
问答题氧在二氧化硅中的基本单元是什么?他有哪两种基本形态?
问答题组成氧化硅的基本单元是什么?他有哪两种主要结构?