问答题氧在二氧化硅中的基本单元是什么?他有哪两种基本形态?
问答题组成氧化硅的基本单元是什么?他有哪两种主要结构?
问答题什么是氧化工艺?请说明氧化工艺为什么需要高温技术?
问答题试说明CMOS工艺在硅片上形成氧化物的主要方法,以及他们间的本质区别。
问答题CMOS工艺中为什么要形成侧墙?在哪一个工艺环节形成及为什么?并说明其形成步骤及主要作用。