问答题

简答题氧化工艺产生的SiO₂为何种类型？并说明其结构对其强度和密度的影响。

【参考答案】

半导体工艺中用热氧化法生长的SiO₂是典型的无定形SiO₂。无定形SiO₂的强度、密桥相比，有氧桥的部分越大，氧化层的密度、黏合力就越大，受损伤的趋向也就越小。

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