简答题 什么是扩散的相互作用？试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。

【参考答案】

当两种不同的杂质先后扩入同一晶体内，当第二种杂质扩散时，第一种杂质仍在继续扩散；第一种杂质的后续扩散、最终的分布和结深的变化会受到第二种杂质扩散的影响。在npn窄基区晶体管的制造中，基区和发射区分别扩硼和扩磷时：高浓度发射区扩散时，基区杂质的继续扩散受到发射区杂质的影响，使正对发射区下方的基区深度与......

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