简答题 外延生长有哪些显著优点？

【参考答案】

（1）外延生长中，外延层中的杂质浓度可以方便地通过控制反应气流中的杂质含量加以调节，而不依赖于衬底中的杂质种类与掺杂水平。
（2）外延生长可以选择性的进行生长，不同材料的外延生长，不同成分的外延生长，这对于器件的制备尤为重要。
（3）一些半导体材料目前只能用外延生长来制备。