（1）液相外延：采用从溶液中再结晶原理的外延生长方法称液相外延； （2）气相外延：使化学气体中半导体成分结晶在衬底表面，从而生长出半导体层的过程； （3）分子束外延：在超高真空条件下精确控制原材料的分子束强度，并使其在加热的基片上进行外延生长的一种技术。
问答题简述制作垂直LED芯片的方法。
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填空题直拉法生长单晶硅要经过（）六个阶段。
填空题目前，生长单晶硅的方法主要有（）。
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