简答题 简述溅射率的影响因素。

【参考答案】

（1）溅射率和入射离子的种类、能童、角度以及靶材的种类、结构等有关。溅射率依赖于人射离子的质量，质量越大，溅射率越高。
（2）在入射离子能童超过溅射阈值后，随着入射离子能童的增加，在150eV以前，溅射率和入射离子能里的平方成正比；在150~10000eV范围内，溅射率变化不明显；入射能童......

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