（1）真空紫外线可以在没有任何吸收损失的条件下被直接引向窗口； （2）在窗口处可避免薄膜沉积； （3）没有光线直接到达基片。
问答题限制激光化学气相沉积沉积率的参数主要有哪些？
问答题激光化学气相沉积的反应系统和传统化学气相沉积系统相似，但薄膜的生长特点在许多方面是不同的，这其中的主要原因是什么？
问答题激光化学气相沉积过程中显示出的那些独特优越性？
问答题何为激光化学气相沉积，它的主要机制和作用是什么？
问答题化学气相沉积反应器的设计类型可分成几种，各自特点有哪些？
