简答题 溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？

【参考答案】

溅射原子的能童分布一般呈麦克斯韦分布，溅射原子的能量和速度具有以下特点：
（1）原子序数大的溅射原子溅射逸出时能童较高，而原子序数小的溅射原子溅射逸出的速度较高；
（2）在相同轰击能里下，溅射原子逸出能里随入射离子的质里而线形增加；
（3）溅射原子平均逸出能里随入射离子......

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