问答题何为激光化学气相沉积，它的主要机制和作用是什么？
问答题化学气相沉积反应器的设计类型可分成几种，各自特点有哪些？
问答题在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变里有那些？涉及那几个基本过程？
问答题化学气相沉积的主要缺点有哪些？
问答题简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
