简答题 简述激光蒸发法的特点？

【参考答案】

（1）激光加热可以达到极高的温度，可蒸发任何高熔点的材料，且可获得很高的蒸发速率
（2）由于采用非接触式加热，激光器可以安放在真空室外，既完全避免了蒸发源的污染，又简化了真空室，非常适宜在高真空下制备高纯薄膜
（3）利用激光束加热能够对某些化合物或合金进行闪烁蒸发，有利于保证膜成......

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