简答题 简述CVD输运反应的原理。

【参考答案】

把需要沉积的物质当作源物质（不挥发性物质），借助于适当的气态介质与之反应而形成一种气态化合物，这种气态化合物经化学迁移或物理载带（利用载气）输运到与源区温度不同的沉积区，并在基板上发生逆向反应，使源物质重新在基板上沉积出来，这样的过程称为化学输运反应。