简答题 简述分子束外延镀膜的特点。

【参考答案】

（1）MBE虽然也是一个以气体分子运动论为基础的蒸发过程，但它不是以蒸发温度为控制参数，而是以系统中的四极质谱仪、原子吸收光谱等近代分析仪器，精密地监控分子束的种类和强度，从而严格控制生长过程和生长速率
（2）MBE是一个超高真空的物理沉积过程，既不需要考虑中间化学反应，又不受质量传输的影响......

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