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问答题

简答题 通常对蒸发源材料的要求有哪些?

【参考答案】

(1)熔点要高
(2)饱和蒸气压低
(3)化学性质稳定,在高温下不与蒸发材料发生化学反应
(4)具有良好的耐热性,热源变化时,功率密度变化很小
(5)原料丰富,经济耐用