判断题低温、高速的沉积往往有助于形成粗大甚至单晶结构的薄膜。
判断题当入射离子能量小于一定值时，不会发生溅射现象。
判断题分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。
判断题蒸发镀膜时，必须将镀料加热至熔点温度以上。
多项选择题溅射机理有（）。
A.直流溅射B.反应溅射C.热蒸发理论D.级联碰撞理论
